作者：张通和，吴瑜光 编著
出版社：
机械工业出版社
ISBN：7111169778
印次：1
纸张：胶版纸
出版日期：2005-10-1
字数：499000
版次：1
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内容提要：
本书内容主要包括离子束注入技术、离子束增强沉积技术、磁过滤离子束沉积技术、全方位离子注入技术、强脉冲离子束
材料改性技术和离子束创建新型制膜工程等，着重给出了
些离子束技术的最新研究成果及其在工业上的广泛应用情况。本书内容系统全面，实用性强。
本书可供表面工程技术
员技术人员
考，也可供相关专业在校师生以及研究人员参考。
目录：
前言
第1章 离子束表面工程技术概述
1.1 离子束表面工程技术原理
1.2 离子束注入的特点和局限性
1.3 离子束表面工程技术的发展概况
第2章 离子束注入技术
2.1 离子束注入技术简介
2.2 非金属离子注入
2.3 金属离子注入
2.4 离子注入WC
合金钢
2.5 离子注入改善TiN和TiC沉积膜特性
2.6
程离子注入
2.7 双注入
2.8 共注入
2.9 离子注入材料的
性能改善
2.10 离子注入工业应用
第3章 离子束增强沉积技术
3.1 简介
3.2 金属膜的制备和特性
3.3 超硬陶瓷膜
3.4 类金刚石膜
3.5 固体滑润膜
3.6 光学膜
3.7 c-BN膜的制备和特性
3.8 β-C3N4膜
3.9 离子增强沉积的工业应用
第4章 磁过滤离子束沉积技术
4.1 简介
4.2 磁过滤离子束金刚石薄膜沉积的应用
4.3 Ti沉积改善H13钢抗腐蚀性能
4.4 Ti+C+N共沉积膜的制备及其性能改善
4.5 聚合物表面沉积
4.6 Mo+C和Ti+C共沉积MoC膜和TiC膜
工艺和特性
4.7 Ti+Fe+C三元共沉积膜的特性
4.8 靶加热NbN沉积膜的特性
4.9 高压负脉冲沉积薄膜的特性
4.10 超厚膜的形成
4.11 离子束沉积
4.12 降低膜的内应力途径
4.13 增强膜与基体粘合强度的途径
4.14 DLC膜的制备、特性和应用
4.15 磁过滤制膜特性和应用综述
第5章 全方位离子注入技术
第6章 强脉冲离子束材料改性技术
第7章 离子束创建新型制膜工程
第8章 离子束技术发展展望
参考文献
