FEI发布双光束工具，满足45nm以下STEM成像分析要求

作者：  信息来源:中国电子工程专辑  2007-7-7

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FEI公司日前扩展了其产品系列，推出双光束产品系列的下一代工具。该工具被称为Expida1255S，据称是业内首个将晶圆级STEM(扫描透射电子显微术)试样制备与超高分辨率成像和分析集成在单个工具中的双光束系统。“支持量产工艺控制的半导体实验室经常陷入两难境地，”FEINanoElectronics市场策划部副总裁TonyEdwards表示，“具有...

    FEI公司日前扩展了其产品系列，推出双光束产品系列的下一代工具。该工具被称为Expida 1255S，据称业内首个将晶圆级STEM(扫描透射电子显微术)试样制备与超高分辨率成像和分析集成在单个工具中的双光束系统。 
    “支持量产工艺控制的半导体实验室经常陷入两难境地，” FEI NanoElectronics市场策划部副总裁Tony Edwards表示，“具有时效性的SEM工具缺乏目前器件设计必需的放大率和分辨率，而较高分辨率的STEM和TEM系统则需要耗时的试样制备。 
    Expida 1255S具有用于TEM试样制备的先进离子光束柱，以及用于高分辨率30kV成像的带14段STEM检测器的增强型电子柱。新的Expida系统可以满足45纳米以下工艺控制的高吞吐量STEM成像和分析要求。

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