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化学气相沉积( CVD )技术

作者:  信息来源:tools.newmaker.com  2008-12-24

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化学气相沉积( CVD )是一种热化学反应过程,是在特定的温度和经过特别处理的基体零件(包括硬质合金和工具钢材质)所进行的气态化学反应。 BernexCVD 工艺在二十世纪七十年代早期发展起来,并在涂层工艺、结构、和复合上持续不断的改进来满足市场的需求。 加工温度 一般的 CVD 加工处理温度: Bernex 高温涂层: 900 ℃...
化学气相沉积( CVD )是一种热化学反应过程,是在特定的温度和经过特别处理的基体零件(包括硬质合金和工具钢材质)所进行的气态化学反应。

BernexCVD 工艺在二十世纪七十年代早期发展起来,并在涂层工艺、结构、和复合上持续不断的改进来满足市场的需求。

加工温度

一般的 CVD 加工处理温度: Bernex 高温涂层: 900 ℃ ~1050 ℃, Bernex MT CVD 中温涂层: 720 ℃ ~900 ℃。

适合 CVD 涂层的典型零件

最广泛应用到 CVD 涂层的零件包括硬质合金刀片,冲头,金属成型模具挤压模具这些零件同样适合于耐磨及侵蚀环境。然而,由于 CVD 工艺过程是一个高温过程,对于大多数的钢质零件,在 CVD 涂层后要进行再次热处理


CVD 加工过程

典型的涂层类型

典型的涂层类型是 TiC,TiCN (高温和中温, TiN 和&— Al 2 O 3, 和 K— Al 2 O 3 )。涂层大多数总是以多层沉积,正如 TiC/TiN 或TiCN/ Al 2 O 3 或 TiCN/ Al 2 O 3 / TiN复合涂层,满足了特殊应用领域的需求,如铸铁的铣销或加工难加工材料

涂层厚度范围是 5 ~12 um , 但在有些情况下 , 涂层厚度可达 20um , 工艺时间范围为 8~24 小时

CVD 工艺优点

·涂层的极端韧度
·高的装炉数量(但工艺时间长
·反应器内零件无须旋转
·能对复杂的几何形状的零件和有内孔零件涂层
·涂层厚度高度均匀,无论是简单还是复杂的几何形状零件
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