1引言 经过近二十年的不断发展,超精密机床的加工性能已达到相当高的水平。由于超精密切削加工选用的背吃刀量极小(几微米甚至小于1微米),因此切削力对加工精度的影响不容忽视。在超精密切削中,由于金刚石刀具的切削刃具有钝圆半径,因此前刀面被分为平面和圆柱面两部分(圆柱面部分均为负前角)。以前刀面圆弧部分为主要工作...
1) 超精密机床
切削试验所用机床为哈尔滨工业大学自行研制的HCM-I型亚微米级超精密车床。机床工作台由直流伺服
电机驱动,进给分辨率0.01µm;采用空气静压主轴(回转精度±0.1µm);导轨部件采用可抗温度干扰的花岗岩
材料,空气导轨直线度误差0.13µm/100mm;采用空气弹簧作为减振、隔振系统;机床固有频率:水平方向≤1.12Hz,垂直方向≤2Hz。
2) 工件材料
切削试件材料为铝
合金LY12,其化学成分及物理性能指标分别见表1和表2。

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表1 LY12的化学组分(%)

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表2 LY12的物理性能