哈尔滨工业大学贾宝贤王振龙赵万生 微机械技术在工业、农业、医疗、军事等领域的应用日益广泛。目前，微机械的加工方法有：由硅平面技术衍生的微蚀刻加工，由特种加工衍生的微细特种加工，由切削加工衍生的微细切削加工。 微型机电系统技术衍生于微电子技术，由于这种历史原因，硅微细加工在微机械制造中占据主要地位，硅...
4微细冲压
在仪器仪表制造业中，常常会遇到带有许多小孔的板件，板件上的小孔常采用冲孔的方法。
冲小孔技术的研究方向是如何减小冲床的尺度、增大微小凸模的强度和刚度以及微小凸模的导向和保护等。
MEL开发的微冲压机床，长111mm，宽66mm，高170mm，装有一个100W的交流伺服电机，可产生3kN的压力。伺服电机的旋转通过同步带传动和滚珠丝杠传动转换成直线运动。该冲压机床带有连续的冲压模，能实现冲裁和弯板。
日本东京大学生产技术研究所利用WEDG技术，制作微冲压加工的冲头和冲模，然后进行微细冲压加工，在50µm厚的聚酰胺塑料上冲出宽度为40µm的非圆截面微孔。
5 便携式工厂
MEL于1990年提出了微型工厂的概念，并在1999年设计制成了世界上第一套桌面微型工厂样机。它由车床、铣床、冲压机床、搬运机械手和装配用双指机械手组成，占地面积为70m×50cm，能进行加工和装配。为了演示和证明微型工厂的可携带性，MEL于2000年设计制作了第二套微型工厂样机——便携式微型工厂，重量为23kg，被放在长625mm、宽490mm、高380mm、重11kg的箱子里。箱子底部装有小轮，可以像旅行箱一样拖着走。
6 结束语
随着对微机械需求的不断增加，微细切削技术将大显身手，各式各样的微细加工设备将会越来越多。加工设备的小型化的确带来了很多优点，如减少了能量消耗，减小了热变形误差，提高了响应速度等。但同时必须看到，如片面地追求小型化也会带来不利的方面，如宜人性较差，不便于装卸工件，机床的刚度小等。
虽然采用切削方法进行微细加工取得了进展，但是，这些方法也存在着本身难以克服的缺点，例如：加工时都存在切削力，不能加工比刀具硬的材料；工件小，切削速度低，限制了表面质量的提高等。微细切削技术与其它加工技术相互融合，可以克服这些缺点，从而进一步提高微细加工的微细程度和扩大工艺范围。
微细切削技术在微小型三维实体结构、致动器的制作上有其独到之处，且其批量制作可以通过
模具加工、电铸、注塑等方法实现。微型机械的加工一方面在向三维复杂形状的制作发展，同时也在向更高加工精度和更小尺度推进。
