西安交通大学和北京航天航空大学日前完成了“工模具表面陶瓷化PCVD技术开发与工业应用”项目，该成果对推动我国制造业技术进步，提高工模具产品质量和核心竞争能力具有重要意义。PCVD(等离子体辅助化学)小...

1．技术内容及技术关键等离子体化学气相沉积技术原理是利用低温等离子体（非平衡等离子体）作能量源，工件置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使工件升温到预定的温度，然后通入适量的反应...