FEI公司日前扩展了其产品系列，推出双光束产品系列的下一代工具。该工具被称为Expida1255S，据称是业内首个将晶圆级STEM(扫描透射电子显微术)试样制备与超高分辨率成像和分析集成在单个工具中的...